紅外測(cè)量
INTRODUCTION OF INFRARED METROLOGY
天準(zhǔn)半導(dǎo)體紅外測(cè)量系統(tǒng)在全球處于頭部地位。系統(tǒng)將高性能紅外相機(jī)與設(shè)計(jì)優(yōu)化的紅外光學(xué)結(jié)合，提供具備出色分辨率和對(duì)比度的圖像，實(shí)現(xiàn)基板的頂部、底部和內(nèi)部結(jié)構(gòu)的有效測(cè)量。
主要特點(diǎn)
設(shè)計(jì)優(yōu)化的整套紅外光學(xué)系統(tǒng)，紅外波長(zhǎng)最高支持1500nm
支持定制適用于不同產(chǎn)品的自動(dòng)化搬運(yùn)方案
可見(jiàn)光和紅外光組合，反射光和透射光組合
SECS/GEM
主要特點(diǎn)
支持定制適用于不同產(chǎn)品的自動(dòng)化搬運(yùn)方案
可見(jiàn)光和紅外光組合，反射光和透射光組合
SECS/GEM
長(zhǎng)期維護(hù)成本低，穩(wěn)定可靠
主要特點(diǎn)
全自動(dòng)測(cè)量
可見(jiàn)光和紅外光組合，反射光和透射光組合
SECS/GEM
長(zhǎng)期維護(hù)成本低，穩(wěn)定可靠
